熱物性解析・構造解析
走査型電子顕微鏡（SEM-EDS）
主な用途
- 対象物表面の微細構造観察（凹凸像、組成像）
- 対象物表面の元素分析（含有元素の同定、簡易定量）
主な仕様
| 電子銃 | LaB6 |
|---|---|
| 検出器 | 二次電子検出器（SEL） 反射電子検出器（BED） 低真空二次電子検出器（LSED） |
| 撮影倍率 (実用倍率) |
×5 ～ 300,000 （×50,000） |
| 加速電圧 | 0.3 ～ 30 kV |
| 低真空圧力設定範囲 | 10 ～ 650 Pa |
| 最大試料寸法 | Φ200 × h75 mm |
| 最大試料積載量 | 2 kg |
| EDS検出器 (元素分析) |
Ultim MAX40 |
| 関連設備 | ・金属コーティング装置 （マグネトロンスパッタ） ・イオンミリング装置 ・樹脂包埋、機械研磨装置 |
装置の説明図および写真
主な特徴
（１）大形試料に対応したチャンバー
（２）低真空では試料のチャージアップが抑えられ導電性コーティングなしでの観察が可能
実績・その他情報
立会いで弊社に滞在いただけるお客さまには、材料試作設備と一緒にSEMをご利用頂くことで、効率的に試験サイクルを回すことが可能です。
※お客様のご要望に合わせて弊社オペレータがSEMを操作いたします。
また、お客様ご自身に操作頂くことも可能です。